2017年5月31日上午,太阳成集团tyc122cc计算机学院朱允刚老师做了题为“基于贝叶斯网络的半导体生产故障检测方法”的学术报告。报告中,朱允刚老师首先介绍了贝叶斯网在半导体晶元生产故障诊断领域的应用背景,然后从模型的表示、推理及学习三方面具体介绍了为解决该问题所设计的贝叶斯网络及相关算法。在模型表示方面,设计了一个基于一阶马尔科夫假设的贝叶斯网络来表示半导体晶元生产过程中多个阶段的监测信息和故障状态之间的依赖关系;在模型推理方面,针对所设计贝叶斯网络结构的特点,给出了基于递推方式的高效推理方法,进而实现故障预测;在模型学习方面,基于EM算法从数据中学习该贝叶斯网络。
报告最后,朱允刚老师与现场师生进行了探讨交流,就贝叶斯网络结构的设计及涉及的推理算法等问题进行了热烈的讨论。